无尘车间选址应遵循有利生产、方便生活、节省投资和运营费用的原则。场地应位于自然环境和水质较好、大气粉尘浓度较低、地形、地貌等造成的小气候有利于生产和节能的地区，远离粉尘量大的地区。在污染源迎风侧和年主导风向，排放有一定防护距离的烟雾、有毒气体和微生物，如机场、铁路、码头、主要交通路线等。无尘车间与主干道的距离应大于50米。

运动线规划要点：对人车路线、管道系统、排气管道、原材料装卸和操作过程进行回顾分析，尽量缩短运动线，避免交叉，防止交叉污染。操作人员、化学品、材料等移动线路不应集中；无尘车间周围应设置缓冲区；进入生产装置不应对操作产生重大影响。

在一些空气净化系统中，如果处理后不能避免交叉污染，则不能回收空气：固体材料的粉碎、称重、配料、混合、制备、压片、包衣、灌装等过程；原料的精制和干燥过程。d有机溶剂；放射性药物生产区；病原体操作区；以及工艺过程中产生的大量有害物质。挥发性气体的生产工艺；固体口服制剂的颗粒

节能原则：无尘车间有许多节能场所，如暖通空调、工艺冷却、压缩空气等设施。暖通空调系统消耗了整个晶圆厂一半以上的电力。造成大量电能浪费和暖通空调产能过剩的原因，主要是由于工厂在设计和建设上走捷径，尽量减少初期投资，而不考虑后期运营成本。高效的设计和高效的设备需要大量的早期投资。所谓的“小节约、大浪费”的捷径和成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。已建工厂的改造常常陷入毫无意义的经济漩涡中。