高效过滤器检漏常用的仪器有：尘埃粒子计数器和5C气溶胶发生器。用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目，可直接检测洁净度等级为十级至三十万级的洁净环境。体积小、重量轻、检测精度高、功能操作简单明了，微处理器控制，可贮存、打印测量结果，测试洁净环境十分便利。

5C 气溶胶发生器

TDA-5C气溶胶发生器能产生一致的多种直径分布的气溶胶粒子，TDA-5C气溶胶发生器与TDA-2G或TDA-2H等气溶胶光度计配合使用时能提供足够的挑战粒子去测量高效过滤系统。

国内高效空气过滤器检测主要依据GB/T 13554-2008《高效空气过滤器》、GB/T 14295-2008《空气过滤器》、JB/T 6417-1992《空调用空气过滤器》、GB/T 6165-2008《高效空气过滤器性能试验方法 过滤效率和阻力》，检测方法包括钠焰法、油雾法和计数法三种，以钠焰法为基准方法。从高效过滤器检测标准的演变过程可以看出，高效空气过滤器测试方法主要有钠焰法、油雾法、DOP法、荧光法和粒子计数法。